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이제 코팅을 시작한지 얼마 되지 않습니다.. thickness monitor 상의 두께와 실제 두께가 다른데 어떻게 보정해야 하나요.... 그리고 두께의 차이가 x-tal의 life와도 관련이 있는지요? 부탁드립니다... |
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반갑습니다. 질문 감사 하고요..
회원님들께 많은 도움이 되리라 생각됩니다.
먼저 센서에 올라가는 막의 두께와 실제 기판(제품)에 증착되는 두께는 차이가 있습니다.
물론 기판들도 위치에 따라 두께차기 나버리죠(이런 연장선에서 본다면 당연시 차이가 있겠죠)....
우선 기판 위치별 두께는 보정판(마스크)로 보정했다고 보고, 원래 차이가 나던 부분에서
기판쪽은 마스크라는 방해물이 생겼으므로 또한번 차이가 나버리게 됩니다.
하지만, 기판과 센서에는 일정한 비율로 차이가 나게 됩니다.
흔히들 이 비율값을 Factor(혹은 tooling factor 등 여러가지 명칭들을 사용하십니다.) 설계값에 적용해서 생산들 하십니다.
IC/5 의 Material 창에 보시면 Master Tooling, Tooling 변수들이 있으나, 이 부분을 사용하시는 분들은
아직 제가 본적이 없습니다.
보정법은 게시판의 글들을 훌터 보십시오. 비슷한 내용의 글들이 많습니다.
그리고, 센서의 수명과 act값은 당연히 영향을 미칩니다. 일반 적으로 act 값이 낮아질수록 단파장쪽으로 shift(두께가 작게)들어갑니다.
게시판 글들을 참조하십시오.
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