Powder Trappack은 반도체 및 LCD의 각 공정에서 발생되는 Powder(Gas반응 생성물)를 포집하는 장치 입니다.
내부 구조의 특성상 Conductance에 영향을 주지 않으면서 미세한 파우더를 대량으로 포집합니다.
생산 Line에서 파우더로 인한 Trouble 과 Maintenance 주기 연장 및 환경 오염 개선에 탁월한 성능을 발휘하며
Pump 전단(진공측)과 후단 (배기측)에 설치할 수 있습니다.
공정의 특성에 따라 파우더의 발생량과 설치공간에 맞는 다양한 모델이 있으며, 본체의 내부구조는 크게 성형타입, 코일타입,콤비
타입의 3종류가 있습니다.
현제 S사의 임플란트 공정, CVD공정,ETCH 공정등에서 적용중입니다.
또한 H사에서도 CVD 공정 임플란트 공정에서 적용하고 있습니다.
자세한 내용은 어제든 연락 주세요..
저도 모르는것이 많이 있습니다. 많이 알려주세요.
모션 하이테크 김현민 입니다.
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