장치에 부착된 이물질, 그리스 오일, 절삭유 및 용접 스케일, 가공시 발생한 절삭분, 연마분 등의
무, 유기물 오염물질을 완벽하게 제거하여 공정오염 및 폭발 등의 위험을
사전에 방지하기 위한 목적으로 청정상태를 확보하는 것을 목적으로 함.
이와같은 중요장치의 세정은 질산+불산 등을 함유한 혼산을 사용할 경우 필터 메쉬의 손상을 일으키며, 표면이
식각되어(마이크로 에칭 또는 과산세) 공정 운전중에 쉽게 파티클(미세 입자)의 재 부착을 일으킬 수 있으므로,
모재에 손상을 일으키지 않는 정밀화학약품의 사용이 요구된다.
일반적으로 사용하는 질산 또는 불산을 함유한 산세액(Picking Solution)의 사용은 배제되어야 한다.
세정 대상 질소 필터의 모습
순환세정라인 연결 모습
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