IPA Vapor Dryer는 탁월한 건조 능력을 발휘하는 장비로서 IPA 특유의 친수성과 고 침투성의 특성을 이용 하여 세정공정(Final Rinse)이 완료된 Wafer를 IPA 증기 속에 넣어 Wafer상에 잔류하고 있는 D.I Water와Particle을 완벽하게 제거함과 동시에 I.P.A의 특성인 고 휘발성을 이용하여 완전한 건조를 수행할 수 있어 고 집적화 되어 지는 Memory Device제조 공정에 우수한 건조능력을 발휘할 수 있도록 설계 제작 되었습니다.
우리가 자주 크린용으로 사용하는 Isopropyl Alcohol
색 상 : 무색투명
비 중 : 0.7887 (to Water)
비 점 : 82.7℃
증기밀도 : 2.1
분자식 : (CH3)2CHOH
인화점 : 15 ℃
외부 자극의 발화점 : 11.7 ℃
자체 발화점 : 398.9 ℃
우리가 자주 크린용으로 사용하는 Isopropyl Alcohol
색 상 : 무색투명
비 중 : 0.7887 (to Water)
비 점 : 82.7℃
증기밀도 : 2.1
분자식 : (CH3)2CHOH
인화점 : 15 ℃
외부 자극의 발화점 : 11.7 ℃
자체 발화점 : 398.9 ℃
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