WET 장치및 세정기

[푸미나안]

WET장치 및 세정기

각 Unit에 적합한 설계
작업 동선을 고려한 단순화 설계 및 제작
효과적인 WET 세정 방식으로 세정 효율 향상 시킴
각종 안전 설비 및 장치를 구비하여 안전성 고려한 설계
단순화된 제어 방식 및 Touch Panel을 이용한 Monitoring

JIG 세정기


세정물 : Syringe, 액정쟁반, 기타 Part류
기본 사양
    - 장비 Dimension : 1480 (L) x 3300 (W) x 2000 (H) < 900 kg : ROBOT 제외 >
    - 처리 능력 (Tact Time) : 20 min/1 set (Customer Spec 협의)



Cassette 세정기


적용 Size : 제3세대 부터 제 7,8세대 이상 고객양산사양 Full 적용가능

기본 사양

    a. Main Frame
     Al-profile, SUS Mirror,
     Cover+대전 방지용 투명 Acryl (5t)

     b. Pass Line
     AGV 대응 Cassette Port --- 1000mm
     Shower Chamber Port --- 800mm

     c. Tact Time & Temperature
     Hot Di Shower(0~70도 제어) ---
     0~600sec/cassette (1초 단위 설정)
     CDA Dry --- 0~600sec/cassette (1초 단위 설정)

     d. Chamber 3면 Window (방진 강화 유리-725x725x10) 설치

     e. Leak 방지 (PVC 5t) 설치

APR 세정기


세정물 : Seal Screen Mask류

기본 사양

    + 장비 Dimension : 2,200(L) × 2,600(W) × 3,500(H)
    + 구성
    - Loading, Unloading 부
    - NMP bath 부
    - DI Rinse bath 부
    - IPA spray 및 N2 Dry 부
    - Robot

UV 세정기


기본 사양

    a. 적용 Size : 기본1,100 x 1,200 (Glass 기준), 협의후 고객양산사양 적용가능
    b. 적용 Type : Scan Type, 전면 노광 Type
    c. Glass 처리 Process ( Tact Time : 55 sec 이내 )


    * Process 조건
    - 사용 용액 : 혼산 ( Etching 세정용 : H₃PO₄+HNO₃+CH₃COOH+H₂O )
        DHF (Etching 세정용 )
        DI( Show용 )