아바텍 유리기판 에칭장치
본 발명은 유리기판 에칭장치에 관한 것으로서, 특히, 식각 공정 중의 유리기판 표면에 에칭액을 자유낙하 시켜 기존의 분사형 노즐의 막힘을 방지하기 위한 장치에 관한 것으로서.....
https://kind.krx.co.kr/common/disclsviewer.do?method=searchInitInfo&acptNo=20220303000842&docno=
https://patents.google.com/patent/KR101391078B1/ko
유리기판 에칭장치
(안개분사방식을 이용한 유리기판에칭장치)
유리기판 에칭장치
(하향플로우 방식의 회전구동부로 구성된 유리기판 에칭장치)
유리기판 에칭장치
(유리기판 박형화 하기 위한 에칭엑을 자유낙화 시켜 기존의 분사형 노즐의 막힘을 방지)
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