아이씨디(040910)
삼성전자 유리기판 상용화위해
대규모 집중 투자
회사 확인 완료
031)678-3333 내선 2번
ICP DRY Etcher
진공 챔버에 공정 가스를 공급하여 RF Power 방전을 통한
플라즈마로 물리화학적인 반응을 형성하여 글라스 기판의
필름을 건식각 공정을 진행하는 다중 건식각 장비
삼성디스플레이에 공급중이며
삼성전자 유리기판 상용화 라인 적용 가능 장비
현재 인텔 관계회사에 공급하여
인텔에서 진행하는 유리기판 테스트 진행중
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