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- 개요 및 특징: 반도체 및 TFT LCD 생산 공정에 사용되는 진공펌프로부터 발생하는 급배기덕트라인의 소음/진동을 획기적으로 감소시킬 수 있는 특허품으로 개발하였다. 아래 내용은 LCD공장의 현황과 대책을 제안한 내용을 실예로 정리한 것이다.
63Hz의 A/F 하부 덕트 소음은 덕트 패널의 진동으로 기인하는 것으로 원인은 Air Impulse Induced Vibration에 의한 방사소음으로서 덕트를 기진하는 진동원을 감소시킬 필요가 있다. 이러한 현상은 지하1층, 지상 1, 2층의 Vacuum Pump의 배관라인과 연결되는 배기덕트의 대부분의 라인에서 발생하고 63Hz의 저주파의 성분이 C/R 전체를 오염시킬 뿐만 아니라 이러한 저주파수 소음은 2차적인 진동문제를 야기시키고 있다. 그리고 이러한 소음대책은 음향학적인 소음기를 설치하는 것이 아니라 아래와 같은 Air Impulse를 감소시키는 Diffuser Type Acoustic Silencer 사용하여 효과적으로 대응할 수 있다.
- 제품 구성 및 특성
진공펌프에 작용하는 배압(back pressure)을 최소화 시키고 소음 및 진동을 최대의 감쇠성능을 얻기 위하여 특수 유공 Diffuser를 사용하였으며, 진공펌프의 용량과 주파수 특성에 따라 개개의 특성에 맞도록 설계 제작을 수행하여 최적의 성능을 발휘하도록 고안한 제품이다.
① Diffuser Silencer (프랜지 직경에 따라 100, 200, 300mm로 구분된다), [ IDS-100, IDS-200, IDS-300 ]
② Diffuser
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포금속(METAL FOAM)
METAL FOAM(발포금속)은 금속 재료 내부에 수많은 기포를 가진 다공질(Porous) 금속으로, 크게 개포형(open cell type, OC)과 폐포형(closed cell type, CC)으로 구분됩니다. 폐포형 발포금속의 경우 금속내부의 기포가 연결되지 않고 독립적으로 존재하며 개포형 발포금속의 경우 재료내부의 기공들이 서로 연결된 형태로 기체나 유체의 통과가 용이하여 폐포형 발포금속에 비하여 그 용도가 비교할 수 없을 정도로 다양합니다.
현재 선진국에서 대표적으로 적용되어지고 있는 분야는 고효율, 소형 경량화가 필요한 항공기, 자동차 분야, 발전소, 전력소자의 열교환기 분야,반도체의 방열판, 대형 플랜트 용 소음기, 화학공장의 촉매, 고강도, 초경량화가 요구되는 항공기, 우주산업의 구조재, 충격 흡수기, 연료 전지(Fuel cell), 필터 등의 분야이며 지금도 그 사용분야가 점점 확대되고 있는 추세입니다. 국내에서도 이러한 세계적인 추세에 따라 개포형 발포금속에 대한 수요가 증가하고 있습니다.
개포형 발포금속(OPEN CELL METAL FOAM)의 특징
- 단위 체적당 표면적비가 극도로 크다 (790∼2740m2/m3)
- 초 경량(기공율 90∼95%)
- 고 강도
- 기계 가공성이 좋다. (vaccum or dip brazing 가능, 열처리, 코팅처리, 컷팅 등이 용이)
- 충격 흡수성이 크다
- 소음 흡수능이 크다
- 흡음 및 전자파 차폐특성을 가진다. |
- 적용분야 및 장비
반도체 및 TFT LCD 공장의 공정용 진공펌프로 기인하는 급배기덕트라인의 충격성 소음, 진동 저감
Fig. 1 Diffuser Silencer System 전체 설치도
(1) Diffuser Silencer 설치
- Diffuser Silencer는 Diffuser가 설치되어 있는 Duct에 최대한 가까이 설치한다.
(2) Diffuser 설치(Fig.2 참조)
- Diffuser 설치는 Diffuser 끝단이 Duct의 단면 수직길이에 1/2이 되도록 설치되어야 한다.
Fig. 2 Diffuser 설치도
(3) C/R Damping Sheet 설치 (Fig.3 참조)
- Damping Sheet의 접착제가 붙은 부분의 종이를 제거하고 부착하고자하는 Duct 외벽에 밀착하여 붙인다.
이때, 부착부분에 공기가 들어가지 않도록 유의하여 밀착시켜 붙인다.
- 부착된 Damping Sheet 위에 일정간격(약 30cm)으로 Bending Tape를 이용하여 고정시킨다.
- 마지막으로 마감재(알루미늄 접착 테이프)로써 Damping Sheet가 부착되어있는 Duct부분을 마감처리 한다.
Fig. 3 C/R Damping Sheet 설치도
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