안녕하세요
저는 고려대학교 디스플레이 연구실의 박사과정 학생입니다
저희가 플라스틱 위에 기체차단성 박막을 제작하려고 하는데
재료는 메탈 옥사이드 계열의 무기물들 입니다
타겟 및 소스는 따로 주문하여 구비할 수 있습니다
다만 스퍼터나 이빔을 사용하면서 타겟이나 소스를 저희 것을 사용하여 증착 공정을 할 수 있는 업체 및 연구소 정보를 구하고 있습니다
관련 되시는 분이나 아시는 곳이 있으신 분, 정보 부탁드립니다
감사합니다
저는 고려대학교 디스플레이 연구실의 박사과정 학생입니다
저희가 플라스틱 위에 기체차단성 박막을 제작하려고 하는데
재료는 메탈 옥사이드 계열의 무기물들 입니다
타겟 및 소스는 따로 주문하여 구비할 수 있습니다
다만 스퍼터나 이빔을 사용하면서 타겟이나 소스를 저희 것을 사용하여 증착 공정을 할 수 있는 업체 및 연구소 정보를 구하고 있습니다
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댓글
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작성자예원파파 작성시간 08.09.01 Gas Barrier용 박막은 사용후 Carbon 오염에 의한 문제때문에 쉽게 장비를 대여하기는 어려우리라고 판단합니다. 전문회사에서 자체 Source이외에는 Chamber에 넣고 싶어 하지 않기 때문이죠... system을 구성하는 것이 장기적으로 좋을것 같습니다.
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작성자하이맨 작성시간 08.09.01 네 맞습니다. 누가 쳄버와 시스템을 오염 시킬수 있는 소지가 있는 작업을 어느 업체에서 할려고 할까요....?
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작성자유박사 작성시간 08.09.18 스퍼터링 중고 장비 있습니다 필요하시면 연락 주세요