글쓴이: only...
날짜:2003/09/22 16:15
밑에 글을 읽다보니 74델타 님이 저와 비슷한 고민을 하셨네요...
어떻게 결론이 지어졌는지 궁금한데..거기까지는 얘기가 없네요..^^;;
저희는 class 1,000의 clean room을 사용하고 있는데요...
파티클 카운터로 측정을 해보면(Rion KR-11A) 0이 나오는 경우가
자주 발생합니다.(0.5um 기준)
처음엔 clean room이 굉장히 깨끗해서 그런가보다 했는데...
0이 나오는 경우가 너무 빈번하고 실제로는 그렇게 깨끗하게 관리가 되고있지는 못하거든요...
그래서 먼저 아래 답변에 있는 내용들을 확인해본 결과..
over range는 아닌것 같구요...
clean room 외부에서 측정하면 숫자가 엄청나게 나오니까
카운터기의 모터 흡입력 문제는 아닌것 같구요...
그리고 검교정은 구매 업체의 의뢰하여 zero counting이 되는지
particle size 별로 발생되는 입력신호값 대비 출력신호값이 제대로 나오는지 정도만 확인을 하였는데, 업체 말로는 이상이 없다고 하는데...
정밀 검교정을 해야 하는건지....
아니면 또다른 문제가 있는건지 궁금합니다.
고수님! 도와주십시요....^^;;
그리고 검교정을 받으려면 일본으로 보내야 하는건가요?
그럼 견적은 얼마나 하되는지 궁금합니다.
그리고 Rion KR-11A 파티클 카운터의 정확도, 신뢰도는 어느정도인지 알 수 있나요?
<<답변>>
Rion KR-11A 모델이면 휴대용으로 0.3㎛ 0.5㎛를 측정할 수 있는 것이군요.
휴대용은 아무래도 흡입량이 적으므로 정확도는 떨어집니다.
하지만 그렇다고 해도 어느 agent를 통해 구매를 하셨는지 모르겠지만, 측정이 안되는 경우가 많다면 문제가 있을 수 있겠습니다.
장비상태를 확인하려면 비교측정을 해보시죠. 계측기의 검교정이란 검정과 교정으로 나누어 지는데 검정방법은 유사 계측기와 비교측정하는 것이 가장 현실적인 방법입니다.
particle counter를 구입한 agent를 통하여 흡입량이 1.0 cfm 이상되는 particle counter를 빌려서 두대의 particle counter로 비교측정을 하는 것입니다. 웬만한 agent에서는 demo용으로 한대 이상의 particle counter를 가지고 있습니다. 만일 없다면 agent에서 다른 회사에 판매한 particle counter를 빌려달라고 요청하십시요. 단 같은 RION 것으로 하여야 비교가 확실하겠지요.
두대의 particle counter를 가지고 먼저 HEPA filter 후단에서 zero counting 여부를 확인하고, 그 다음에 각 particle counter 흡입구에서 손바닥을 두드린다든지 장갑을 낀 채로 손을 비벼본다든지 하여 particle을 인위적으로 발생시켜서 particle이 측정되는지를 확인하고, 그리고 실제 클린룸에서 같은 위치에서 두대의 particle counter로 비교측정을 해보십시요.
그래도 차이가 별로 없다면 현재 data를 신뢰할 수 밖에 없을 것 같군요.
장비에 신뢰가 가지 않는다면 검교정을 하여야 하는데, 국내 agent에서 실시하는 particle counter 검교정은 이야기하신 것 처럼 간이적인 방법입니다. 실제 agent에서 하는 검교정방법들도 zero counting은 HEPA filter 후단에서 직접 측정해보면 되고, 입력신호대비 출력신호값 확인도 oscilloscope만 있으면 직접하실 수 있습니다. 정확하게 검교정을 하실려면 maker로 장비를 보내야 합니다. 비용은 구입한 곳에서 확인을 해보시죠. 소요기간은 상당히 걸릴겁니다.
날짜:2003/09/22 16:15
밑에 글을 읽다보니 74델타 님이 저와 비슷한 고민을 하셨네요...
어떻게 결론이 지어졌는지 궁금한데..거기까지는 얘기가 없네요..^^;;
저희는 class 1,000의 clean room을 사용하고 있는데요...
파티클 카운터로 측정을 해보면(Rion KR-11A) 0이 나오는 경우가
자주 발생합니다.(0.5um 기준)
처음엔 clean room이 굉장히 깨끗해서 그런가보다 했는데...
0이 나오는 경우가 너무 빈번하고 실제로는 그렇게 깨끗하게 관리가 되고있지는 못하거든요...
그래서 먼저 아래 답변에 있는 내용들을 확인해본 결과..
over range는 아닌것 같구요...
clean room 외부에서 측정하면 숫자가 엄청나게 나오니까
카운터기의 모터 흡입력 문제는 아닌것 같구요...
그리고 검교정은 구매 업체의 의뢰하여 zero counting이 되는지
particle size 별로 발생되는 입력신호값 대비 출력신호값이 제대로 나오는지 정도만 확인을 하였는데, 업체 말로는 이상이 없다고 하는데...
정밀 검교정을 해야 하는건지....
아니면 또다른 문제가 있는건지 궁금합니다.
고수님! 도와주십시요....^^;;
그리고 검교정을 받으려면 일본으로 보내야 하는건가요?
그럼 견적은 얼마나 하되는지 궁금합니다.
그리고 Rion KR-11A 파티클 카운터의 정확도, 신뢰도는 어느정도인지 알 수 있나요?
<<답변>>
Rion KR-11A 모델이면 휴대용으로 0.3㎛ 0.5㎛를 측정할 수 있는 것이군요.
휴대용은 아무래도 흡입량이 적으므로 정확도는 떨어집니다.
하지만 그렇다고 해도 어느 agent를 통해 구매를 하셨는지 모르겠지만, 측정이 안되는 경우가 많다면 문제가 있을 수 있겠습니다.
장비상태를 확인하려면 비교측정을 해보시죠. 계측기의 검교정이란 검정과 교정으로 나누어 지는데 검정방법은 유사 계측기와 비교측정하는 것이 가장 현실적인 방법입니다.
particle counter를 구입한 agent를 통하여 흡입량이 1.0 cfm 이상되는 particle counter를 빌려서 두대의 particle counter로 비교측정을 하는 것입니다. 웬만한 agent에서는 demo용으로 한대 이상의 particle counter를 가지고 있습니다. 만일 없다면 agent에서 다른 회사에 판매한 particle counter를 빌려달라고 요청하십시요. 단 같은 RION 것으로 하여야 비교가 확실하겠지요.
두대의 particle counter를 가지고 먼저 HEPA filter 후단에서 zero counting 여부를 확인하고, 그 다음에 각 particle counter 흡입구에서 손바닥을 두드린다든지 장갑을 낀 채로 손을 비벼본다든지 하여 particle을 인위적으로 발생시켜서 particle이 측정되는지를 확인하고, 그리고 실제 클린룸에서 같은 위치에서 두대의 particle counter로 비교측정을 해보십시요.
그래도 차이가 별로 없다면 현재 data를 신뢰할 수 밖에 없을 것 같군요.
장비에 신뢰가 가지 않는다면 검교정을 하여야 하는데, 국내 agent에서 실시하는 particle counter 검교정은 이야기하신 것 처럼 간이적인 방법입니다. 실제 agent에서 하는 검교정방법들도 zero counting은 HEPA filter 후단에서 직접 측정해보면 되고, 입력신호대비 출력신호값 확인도 oscilloscope만 있으면 직접하실 수 있습니다. 정확하게 검교정을 하실려면 maker로 장비를 보내야 합니다. 비용은 구입한 곳에서 확인을 해보시죠. 소요기간은 상당히 걸릴겁니다.
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