글쓴이: 두자리
날짜:2003/11/21 08:31
클린룸 온습도 관련 국제 규격이 있나요?
저희는 반도체 제조 회사인데, particle 관련 document은 많은것 같은데
온습도관련 규격은 의외로 없는것 같습니다.
<<답변>>
환경에 관한 규격이라 하면 일반적으로 항목의 정의, 측정방법, 한계치, 판정기준 등으로 구분할 수 있을 것입니다.
예를 들어 청정도에 관한 규격이라면 항목의 정의라는 것은 "어느 정도일때 class10으로 한다"는 것이고, 측정방법은 "이 실내에서는 몇 m 높이에서 몇 point를 측정한다"는 것이고, 한계치는 "반도체 photo 공정은 class 얼마로 한다"는 것이고, 판정기준은 "한계치를 벗어나는 것은 몇 point 이면 불합격으로 한다"는 것입니다.
그런데 온습도에 관한 것은 정의는 이미 되어 있습니다. 어느 정도의 값을 0℃로 한다는 것은 모두 알고 있는 내용이지요. 그리고 클린룸에서 온습도 측정방법은 CleanRoom 성능시험(IES-RP-CC-006-84)에 나온 것이 있습니다. (E4C 기술자료 17번 글 참조)
님이 원하는 것은 한계치와 판정기준에 대한 것으로 추측이 되는데 그러한 것은 어느 규격에도 없습니다. 그것은 해당 작업장에 고유의 값이기 때문에 일률적으로 규격화할 수 없습니다. 따라서 관련된 자료들을 참조하고 해당 공정 또는 생산 엔지니어와 협의하여 해당 작업장의 원재료나 공정에 적합한 나름대로의 규정을 정하여야 할 것입니다.
일반적으로 생산공정의 온습도는 몇 ℃로 할 것인가 보다는 ±몇 ℃로 할 것인가가 더 중요합니다. 대부분의 원재료나 공정은 원하는 온습도의 범위에 대한 마진은 넓습니다. 하지만 그 범위 안에 있더라도 주어진 온습도에서의 변화폭, 특히 시간당 온습도의 변화폭에 민감합니다.
날짜:2003/11/21 08:31
클린룸 온습도 관련 국제 규격이 있나요?
저희는 반도체 제조 회사인데, particle 관련 document은 많은것 같은데
온습도관련 규격은 의외로 없는것 같습니다.
<<답변>>
환경에 관한 규격이라 하면 일반적으로 항목의 정의, 측정방법, 한계치, 판정기준 등으로 구분할 수 있을 것입니다.
예를 들어 청정도에 관한 규격이라면 항목의 정의라는 것은 "어느 정도일때 class10으로 한다"는 것이고, 측정방법은 "이 실내에서는 몇 m 높이에서 몇 point를 측정한다"는 것이고, 한계치는 "반도체 photo 공정은 class 얼마로 한다"는 것이고, 판정기준은 "한계치를 벗어나는 것은 몇 point 이면 불합격으로 한다"는 것입니다.
그런데 온습도에 관한 것은 정의는 이미 되어 있습니다. 어느 정도의 값을 0℃로 한다는 것은 모두 알고 있는 내용이지요. 그리고 클린룸에서 온습도 측정방법은 CleanRoom 성능시험(IES-RP-CC-006-84)에 나온 것이 있습니다. (E4C 기술자료 17번 글 참조)
님이 원하는 것은 한계치와 판정기준에 대한 것으로 추측이 되는데 그러한 것은 어느 규격에도 없습니다. 그것은 해당 작업장에 고유의 값이기 때문에 일률적으로 규격화할 수 없습니다. 따라서 관련된 자료들을 참조하고 해당 공정 또는 생산 엔지니어와 협의하여 해당 작업장의 원재료나 공정에 적합한 나름대로의 규정을 정하여야 할 것입니다.
일반적으로 생산공정의 온습도는 몇 ℃로 할 것인가 보다는 ±몇 ℃로 할 것인가가 더 중요합니다. 대부분의 원재료나 공정은 원하는 온습도의 범위에 대한 마진은 넓습니다. 하지만 그 범위 안에 있더라도 주어진 온습도에서의 변화폭, 특히 시간당 온습도의 변화폭에 민감합니다.
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