| 미연방규격(FS 209E)에 의한 청정실 등급 |
 |
미연방 기준(U.S Federal Standard No.209 b)
|
CLASS |
입자 |
압력차
(mmAq) |
온도 |
습도(%) |
제어범위 |
기류 환기횟수 |
조도 (Lux) | ||||
|
입경 (㎛) |
입자수 (개/ft3) |
범위 |
요구치 |
제어 범위 |
최고 |
최저 | |||||
|
100 |
≥0.5 |
≤100 |
1.25 이상 |
19.4 ~ 25 |
22.2 |
±2.8
특별한 경우 ±0.28 |
45 |
30 |
±10 특별한 경우 ±5 |
층류방식
0.45m/s ±0.1m/s 난류방식 ≥20회/h |
1,080
~ 1,620 |
|
1,000 |
≥0.5 ≥5.0 |
≤1,000 ≤7 | |||||||||
|
10,000 |
≥0.5 ≥5.0 |
≤10,000 ≤65 | |||||||||
|
100,000 |
≥0.5 ≥5.0 |
≤100,000 ≤700 | |||||||||
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