맞습니다 ^^
예를 들어 cleaning 하면
in-situ cleaning이 되는 거구요.
챔버안에서 여러가지를 in-situ로 해결하면 시간 많이 벌죠~
--------------------- [원본 메세지] ---------------------
챔버 안에서 박막을 증착하고 바로 annealing 하는것을 in-situ annealing 이라고 하는것 같은데 여기서 in-situ 라는게 챔버안에서 이루어진다고 해서 in-situ 인가여?
잘 모르겠어요
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